作者:青菜 返回目录 加入书签
碰到问题只能想办法解决。好在系统给出的制作图在各种复杂的问题上比现有的芯片制作要简单很多,但他还是要克服芯片的问题。
现在ASML投产的最先进的掩模对准曝光机是3400C,主力出货型号是3400B。参数方面,3400B套印精度2nm,曝光速度20mJ/cm2,每小时可曝光125片。
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